เวเฟอร์เกรดไพรม์
ซิลิคอนเวเฟอร์เกรดไพร์มเป็นเวเฟอร์ซิลิคอนที่ดีที่สุดและเป็นเกรดสูงสุดสามารถใช้สำหรับการผลิตอุปกรณ์ โดยมีคุณสมบัติโดยทั่วไปรวมถึงพื้นผิวที่เรียบมาก และค่าความผันแปรของความหนารวม (TTV) ต่ำคุณภาพที่เป็นเลิศและพื้นผิวที่ขัดมันพร้อมความสามารถในการให้ค่าความต้านทานที่เข้มงวดยิ่งขึ้นคือสิ่งที่ทำให้เวเฟอร์เกรดไพรม์ดีที่สุดให้คุณภาพที่ยอดเยี่ยม พื้นผิวมันเงา และมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น
6 นิ้ว (150 มม.)8 นิ้ว (200 มม.),12 นิ้ว (300 มม.) |
เวเฟอร์เกรดทดสอบ/เวเฟอร์ดัมมี่
Dummy wafer (เรียกอีกอย่างว่า test wafers) คือ Si dummy wafer ที่ใช้เป็นหลักในการทดลองและทดสอบเวเฟอร์เกรดทดสอบมีคุณภาพสูงแต่มีคุณสมบัติที่เข้มงวดน้อยกว่าเวเฟอร์เกรดไพรม์ดังนั้น เวเฟอร์รีเคลมส่วนใหญ่จะใช้เป็นเวเฟอร์เกรดจำลอง (เวเฟอร์ทดสอบ)เวเฟอร์เกรดทดสอบมักใช้ในงานที่ต้องการเวเฟอร์จำนวนมากสำหรับการทดสอบอุปกรณ์และการผลิตในแต่ละกระบวนการ ความหนาของฟิล์ม ความต้านทานแรงดัน ดัชนีการสะท้อน และการมีอยู่ของพินบอลจะถูกวัดโดยใช้เวเฟอร์จำลอง (เวเฟอร์ทดสอบ)
6 นิ้ว (150 มม.)8 นิ้ว (200 มม.),12 นิ้ว (300 มม.)
|
เวเฟอร์เกรดทดสอบ/เวเฟอร์จอภาพ
เวเฟอร์มอนิเตอร์เป็นเวเฟอร์ซิลิคอนเปล่าที่จะใช้ในกรณีที่จำเป็นต้องมีการปรับในแต่ละขั้นตอนการผลิตก่อนการผลิต IC จริงตัวอย่างเช่น เมื่อมีการตั้งค่าเงื่อนไขของแต่ละกระบวนการ เช่น กรณีของการวัดค่าความคลาดเคลื่อนของอุปกรณ์กับ ( ความแปรผันของ ) ความหนาของซับสเตรต แผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนแบบหยอดเหรียญสำหรับเวเฟอร์แบบเว้นวรรคจะถูกใช้แทนเวเฟอร์ที่มีมาตรฐานสูงและมีมูลค่าสูง .นอกจากนี้ยังใช้เพื่อการตรวจสอบในกระบวนการควบคู่ไปกับผลิตภัณฑ์เวเฟอร์
6 นิ้ว (150 มม.)8 นิ้ว (200 มม.),12 นิ้ว (300 มม.) |
เวเฟอร์รีเคลม
เนื่องจากซิลิคอนเกรดไพรม์มีราคาสูงและมีการบริโภคในปริมาณมากโรงงานเซมิคอนดักเตอร์หลายแห่งใช้เวเฟอร์รีเคลมเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและตรวจสอบกระบวนการผลิตและอุปกรณ์การเรียกคืนเกี่ยวข้องกับการนำวัสดุที่ไม่ต้องการออกจากแผ่นเวเฟอร์ด้วยการผสมผสานระหว่างกระบวนการแบบแห้งและเปียก จากนั้นจึงทำการขัดและทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์เพื่อให้พื้นผิวซิลิกอนกลับคืนสู่เกรดที่ใช้งานได้ลักษณะของกระบวนการทั่วไปต้องมีการกำจัดซิลิกอนบางส่วนแหล่งที่มาของเวเฟอร์ที่ถูกยึดคืนมาจากเวเฟอร์มอนิเตอร์และเวเฟอร์จำลอง แต่ไม่ใช่เวเฟอร์ที่มีข้อบกพร่องในเซมิคอนดักเตอร์ fabการนำแผ่นเวเฟอร์มอนิเตอร์และแผ่นเวเฟอร์จำลองมาปรับปรุงใหม่สามารถลดต้นทุนการดำเนินงานของโรงงานได้อย่างมาก
6 นิ้ว (150 มม.)8 นิ้ว (200 มม.),12 นิ้ว (300 มม.)
|
เวเฟอร์สปัตเตอร์
กระบวนการสปัตเตอร์ได้รับการออกแบบมาเพื่อฝากโลหะและฟิล์มไดอิเล็กทริกที่สะอาดเป็นพิเศษการประมวลผลเวเฟอร์ทั้งหมด รวมถึงการชุบโลหะ ดำเนินการภายในคลีนรูมการกัดด้วยคลื่นความถี่วิทยุในแหล่งกำเนิดมีความจำเป็นต่อกระบวนการเพื่อให้แน่ใจว่าการยึดเกาะของฟิล์มที่ดีและการสัมผัสแบบโอห์มมิกกับชั้นสื่อกระแสไฟฟ้าที่อยู่เบื้องล่างนั้นจำเป็นฟิล์มสปัตเตอร์ทั้งหมดมีจำหน่ายบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 300 มม.เรามีความต้องการโลหะไม่มีค่า ฟิล์มไดอิเล็กทริก และซิลิกอนที่พ่นด้วยสารต่างๆ มากมายภาพยนตร์ที่ได้รับความนิยมมากที่สุด ได้แก่ ทองแดง อะลูมิเนียม นิกเกิล และอื่นๆ
150〜300 มม. |
เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ
ลวดลายเวเฟอร์แผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนที่มีลวดลายมีคุณภาพและความต้องการด้านความสะอาดเหมือนกันกับลักษณะที่ปรากฏของแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนที่มีลวดลายมาตรฐาน(Unpatterned)เวเฟอร์เปล่า.แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเปล่าขนาดใหญ่หรือ SDB คือแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางมากกว่าแปดนิ้วกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพและกระบวนการผลิตเริ่มต้นด้วยการควบคุมคุณภาพของแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนเปล่าและเวเฟอร์ epitaxialเวเฟอร์กะบังโลหะเวเฟอร์ที่ไม่ใช่โลหะ Septumเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำอื่นๆ
200&300mm |